東北大学の大見忠弘教授の産学連携プロジェクトが、「マイクロ波励起高密度プラズマラジカル反応」という、LSIのすごい製造技術を開発したそうです。 大見忠弘教授が日本のメーカーに導入を呼びかけても反応が無いそうですが、インテルは関心を持っているよ…
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